Toen Tweakers vorig jaar ASML-cto ontmoette, sprak Martin van den Brink, opperde de topman bij binnenkomst al dat het onmogelijk was om het verhaal van euv-lithografie in één interview te vertellen. De geschiedenis van deze chipproductietechniek is te lang en diepgaand om in een enkel artikel te vatten. Daarom nam de topman onlangs opnieuw plaats in de boardroom van ASML om zijn verhaal af te maken.
Van den Brink schetste in het vorige artikel de lange geschiedenis van ASML, dat zijn roots kent bij de Eindhovense Philips en in de afgelopen vier decennia is uitgegroeid tot een zelfstandige wereldmacht. Van den Brink vertelde over de begindagen van de chipmachinemaker, de introductie van duv-machines en later immersielithografie, de zoektocht naar volgende litho en het begin van ASML’s euv-reis.
In dit vervolg vertelt de technische topman over de cruciale periode om euv klaar te stomen voor de productie van geavanceerde chips. Dat ging niet van een klein dakje: de ontwikkeling van euv verliep moeizaam en de techniek werd jaren te laat opgeleverd. Zoals Van den Brink later in dit interview zal vertellen: “We waren ons krediet bij de klanten met euv aan het opmaken.” Het bedrijf heeft het vertrouwen echter nooit helemaal verloren en wist de techniek uiteindelijk over de eindstreep te trekken.
Met uitzicht over de ASML-thuisbasis in Veldhoven gaat de topman in op de gezamenlijke uitdagingen die daarbij zijn gespeeld. Die obstakels volgden alles van het ophogen van de lichtbronvermogens en het schoonhouden van de optiek en maskers, tot het verhogen van de betrouwbaarheid en het beheren van een enorme toeleveringsketen met honderden garanties. Daarnaast blikken we vooruit op de toekomst van ASML. De chipgigant werkt momenteel hard aan zijn volgende generatie euv-machines, met high-NA en zijn mogelijke opvolger hyper-NA. Deze nieuwe generaties moeten de positie van ASML innemen, op het gebied van euv al uitgroei tot een alleenheerschappij, verder verankeren.
Maar eerst blikken we terug op het jaar 2012. ASML zou in dat jaar een grote overname doen om een van de grote deelproblemen rondom euv te tackelen. Dat verhaal begint, net als het euv-productieproces zelf, bij de lichtbron.
credit :Source link
